超精密加工表面微观形貌的光学测量方法

Optical Methods for Measuring Microstructures of Superfine Surfaces

Wang Hongxiang et al

　　Abstract：The measuring principles，advantages and defects of some typical optical methods for measuring microstructures of superfine surfaces are introduced．The developing situation of the optical measuring technology for surface microstructures is commented．
　　Keywords：surface microstructure　optical measurement　superfine machining

一、概　述

　　机械零件的表面加工质量不仅直接影响零件的使用性能，而且对产品的质量、可靠性及寿命也至关重要。随着超精密加工技术的飞速发展，超精密加工表面的微观形貌测量已成为超精密加工领域中亟待解决的关键课题。
　　超精密加工表面极为光滑，表面粗糙度R_a值 在几分之一纳米到十几纳米之间。加工超光滑表面的材料主要有光学玻璃、有机玻璃、石英玻璃等光学材料，锗、硅等半导体材料及铜、铝等金属材料。表面微观形 貌测量的传统方法是机械触针法，该方法可通过触测直接获得被测表面某一截面的轮廓曲线，经计算机进行数据处理分析，可得到接近真实轮廓的各种表面特征参 数。虽然该类仪器具有较高分辨率及较大量程（如Talystep触针式轮廓仪分辨率可达0.1nm，测量范围可达100μm），但由于测量时尖锐的金刚石触针极易划伤被测样件的超光滑表面并引起测量误差，因此其在超精密表面测量中的应用受到一定限制。近年来，扫描隧道显微镜（STM）及其衍生物原子力显微镜（AFM）的出现，使表面微观轮廓测量技术发生了革命性变革。该类仪器不但具有可达原子尺度的超高分辨率（横向分辨率0．1nm，垂直分辨率0．01nm），还能获得关于被测表面原子结构及功能特性的大量信息。但STM

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测量   光学   微观   加工   表面   精密   干涉   分辨率   激光   测量   光学   微观   加工   表面   精密   干涉   分辨率   激光